МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ СЕНСОР С ЧАСТОТНЫМ ВЫХОДОМ ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ВРЕМЕНИ ЖИЗНИ НОСИТЕЛЕЙ ЗАРЯДА МЕТОДОМ МОДУЛЯЦИИ ПРОВОДИМОСТИ В ТОЧЕЧНОМ КОНТАКТЕ - Осадчук, Владимир Степанович; Осадчук, Александр Владимирович; Дуда, Роман Валериевич (Научные труды Винницкого национального технического университета, 2014)
В технологиях изготовления полупроводниковых приборов используют различные методы исследования их параметров, которые оценивают по изменению структурно-чувствительных электрических параметров – диффузионной длины пробега неравновесных носителей заряда LD и времени их жизни τ [4]. Известные методики [1] определения этих параметров позволяют определить LD и τ для объема полупроводников, поэтому важной задачей данной работы было изучить возможности определения τ с помощью преобразования напряжения в частоту. Последующий анализ и обработка частотного сигнала позволяет повысить точность определения τ. При этом рассматривали методику измерения времени жизни носителей заряда методом модуляции проводимости в точечном контакте.