МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ СЕНСОР С ЧАСТОТНЫМ ВЫХОДОМ ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ВРЕМЕНИ ЖИЗНИ НОСИТЕЛЕЙ ЗАРЯДА МЕТОДОМ МОДУЛЯЦИИ ПРОВОДИМОСТИ В ТОЧЕЧНОМ КОНТАКТЕ

Авторы

  • Владимир Степанович Осадчук Винницкий национальный технический университет
  • Александр Владимирович Осадчук Винницкий национальный технический университет
  • Роман Валериевич Дуда Винницкий национальный технический университет

Ключевые слова:

время жизни, диффузионная длина, неравновесные носители заряда, модуляция, точечный контакт

Аннотация

В технологиях изготовления полупроводниковых приборов используют различные методы исследования их параметров, которые оценивают по изменению структурно-чувствительных электрических параметров – диффузионной длины пробега неравновесных носителей заряда LD и времени их жизни τ [4]. Известные методики [1] определения этих параметров позволяют определить LD и τ для объема полупроводников, поэтому важной задачей данной работы было изучить возможности определения τ с помощью преобразования напряжения в частоту. Последующий анализ и обработка частотного сигнала позволяет повысить точность определения τ. При этом рассматривали методику измерения времени жизни носителей заряда методом модуляции проводимости в точечном контакте.

Биографии авторов

Владимир Степанович Осадчук, Винницкий национальный технический университет

д. т. н., профессор кафедры электроники

Александр Владимирович Осадчук, Винницкий национальный технический университет

д. т. н., профессор кафедры радиотехники

Роман Валериевич Дуда, Винницкий национальный технический университет

аспирант кафедры электроники

Библиографические ссылки

1. Блад П. Методы измерения электрических свойств полупроводников / П. Блад, Дж.В. Оргон. – Зарубежная радиоэлектроника, 1981. – 49 с.

2. Ковтонюк Н. Ф. Измерение параметров полупроводниковых материалов / Н. Ф. Ковтонюк, Ю. А. Концевой. – «Металургия», 1970. – 432 с.

3. Павлов Л. П. Методы измерения параметров полупроводниковых материалов: Учеб. для вузов по спец. «Полупроводниковые и микроэлектронные приборы» / Л. П. Павлов. – М.: Высш. школа, 1987. – 239 с.

4. Батвин В. В. Измерение параметров полупроводниковых материалов и структур / Батвин В. В., Концевой Ю. А. Федорович Ю. В. – М.: Радио и связь, 1985. – 264 с.

5. Уколов А. И. О применимости методик определения параметров рекомбинации носителей заряда к приповерхностным слоям полупроводника / А. И. Уколов, В. А. Надточий, А. З. Калимбет, Д. С. Москаль // Пошук і знахідки. Серія: фізико – математичні науки. – 2010. – № 1. – С. 88 – 94.

6. Осадчук В. С. Напівпровідникові перетворювачі інформації / В. С. Осадчук, О. В. Осадчук. – Вінниця ВНТУ, 2004. – 208 с.

7. Огляд методів визначення часу життя носіїв заряду в напівпровідниках [Електронний ресурс] / В. С. Осадчук, О. В. Осадчук, Р. В. Дуда // Новости научной мысли – 2013: VIII Міжнародна науково технічна конференція, 27 жовтня – 5 листопада 2013 р. м. Прага, Чехія: тези доповідей – Режим доступу: http://www.rusnauka.com/31_NNM_2013/Tecnic/6_145682.doc.htm.

Загрузки

Просмотров анотаций: 209

Как цитировать

Осадчук, В. С., А. В. Осадчук, и Р. В. Дуда. «МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ СЕНСОР С ЧАСТОТНЫМ ВЫХОДОМ ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ВРЕМЕНИ ЖИЗНИ НОСИТЕЛЕЙ ЗАРЯДА МЕТОДОМ МОДУЛЯЦИИ ПРОВОДИМОСТИ В ТОЧЕЧНОМ КОНТАКТЕ». Научные труды Винницкого национального технического университета, вып. 4, февраль 2014 г., https://trudy.vntu.edu.ua/index.php/trudy/article/view/404.

Выпуск

Раздел

Радиоэлектроника и радиоэлектронное аппаратостроение

Метрики

Скачивания

Данные скачивания пока недоступны.

Наиболее читаемые статьи этого автора (авторов)